更新時(shí)間：2024-06-28
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一、Hammer質(zhì)量流量控制器系列
MC 標準系列
控制響應快、穩定的流量控制器。
MCR 大流量系列
精確控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特®R系列閥門(mén)為無(wú)摩擦閥門(mén)，可精密控制大流量的氣體流量，特殊的孔狀模式允許我們根據您的應用需求量身定制閥門(mén)。
MCW / MCRW 低壓損系列
大限度減小壓損對系統的影響，滿(mǎn)量程壓損低僅為4mbar(0.06 psid)；艾里卡特®Whisper低壓損系列質(zhì)量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力，是航空航天、環(huán)境氣體分析等應用的選擇；大量程：0-500 slpm。點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于Whisper系列
MCS / MCRS 耐腐蝕系列
所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結構。 點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于耐腐蝕系列
MCE / MCV 半導體行業(yè)系列
可快速、簡(jiǎn)易地替換老化陳舊的熱式流量控制器，可任意定制引腳功能使之與您的控制系統兼容，封閉式閥門(mén)設計更是符合半導體行業(yè)標準。MCV系列另增加了后置的氣動(dòng)截至閥 ，專(zhuān)門(mén)用于真空應用?？啥ㄖ葡鄳姆栏g系列MCES / MCVS。大量程：0-20 slpm. 點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于半導體行業(yè)系列
MCD / MCRD 雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列
*雙向，可正向或反向控制氣體流量?？啥ㄖ频蛪簱p系列MCDW系列及防腐蝕型MCDS系列。 點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列
二、質(zhì)量流量控制器常用選配項
? 后置閥門(mén)，優(yōu)化真空及背壓應用的控制
? 批量控制模式，依靠快速的閥門(mén)響應來(lái)分配流量，包含在累加器(TOT)功能中
? CSA認證1類(lèi)2區 / ATEX認證1類(lèi)2區允許設備用于危險環(huán)境
? 9針或15針D-Sub等連接接口可選
? 通訊模式有Modbus-RTU、RS-232、RS-485、PROFIBUS等可選
? 彩色背光顯示屏適用于光線(xiàn)不足的場(chǎng)合
三、Hammer質(zhì)量流量控制器性能參數
| 指標 | MFC |
| 量程 | 0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....20SLPM |
| 精度 | ±0.8%讀數±0.2%滿(mǎn)量程（可選高精度：±0.4%讀數±0.2%滿(mǎn)量程） |
| 重復性 | ±0.2% |
| 量程比 | 200:1 |
| 響應時(shí)間 | 100ms |
| 標準狀態(tài)(STP) | 25℃&14.696PSIA （101.325kPa） |
| 溫度范圍 | -10～50 |
| 零點(diǎn)漂移 | 0.02％ |
| 量程漂移 | 0.02％ |
| 濕度范圍 | 0-100% |
| 測量流量范圍 | 128％（過(guò)流率） |
| 大耐壓 | 145psi |
| 輸出信號（數字） | 質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度 |
| 數字信號可選 | RS485，Modbus，Profibus |
| 輸出信號（模擬） | 質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度 |
| 模擬信號可選 | 0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA |
| 電氣連接 | 8針/9針/15針（根據不同類(lèi)型流量計而定） |
| 供電電壓 | 7-30VDC（4-20mA輸出時(shí)為：15-30VDC） |
| 供電電流 | 0.035A（4-20mA輸出時(shí)為：0.055A） |
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