熱式質(zhì)量流量控制器與其他流量計的區別在于,基于熱原理的產(chǎn)品比市場(chǎng)上其他類(lèi)型的流量控制器具有更高的自動(dòng)化集成度、更好的精度、穩定性和重復性。在實(shí)際使用中,發(fā)現當輸入氣體不同時(shí),控制顯示值與實(shí)際值不一致。事實(shí)上,原因很簡(jiǎn)單,因為在MFC行業(yè)中,有一個(gè)參數叫做CF,即氣體轉換系數(以下簡(jiǎn)稱(chēng)CF)。在MFC工業(yè)中,N2(氮氣)被定義為標準氣體M。N2的CF值為1.00,其他氣體以氮氣為中心,分布在0.1和1.4之間。 熱流量計是一種基于熱擴散原理設計的流量?jì)x表,即當流體流過(guò)加熱物體時(shí),加熱物體的熱損失與流體的流量成正比。該系列流量計的傳感器有兩個(gè)標準級RTD,一個(gè)用于熱源,另一個(gè)用于測量流體溫度。當流體流動(dòng)時(shí),兩者之間的溫度差與流速成線(xiàn)性關(guān)系,然后通過(guò)微電子控制技術(shù)將該關(guān)系轉換為測量流量信號的線(xiàn)性輸出。閥體的溢流材料為不銹鋼。
熱式質(zhì)量流量控制器廣泛應用于以下行業(yè):
1.鍋爐和裂解爐燃料氣質(zhì)量流量的測量和控制;
2.石油化工、石油生產(chǎn)和火炬氣的質(zhì)量流量測量;
3.燃燒爐空氣質(zhì)量流量的測量和控制;燃氣輪機氫氣質(zhì)量流量和控制;
4.食品加工和飲料氣體質(zhì)量流量和控制;
5.水廠(chǎng)氯氣質(zhì)量流量控制;
6.半導體生產(chǎn)過(guò)程中的高純度氣體質(zhì)量流量測量;
7.催化劑和化學(xué)添加劑質(zhì)量流量測量;
8.泵保護控制、泵密封、潤滑油池泄漏檢測;
9.空調系統控制;
10.儀表空氣、工藝空氣、氮氣等的質(zhì)量流量測量。
11.氣體分析儀、大氣采樣器
12.泄漏監測
13.配氣系統
14.實(shí)驗室氣體測量
15.醫療應用
16.燃料電池